潔凈車間凈化空調特點及節(jié)能措施

一、潔凈車間凈化空調負荷特點

潔凈空調負荷包括：室內作業(yè)人員的散熱、散濕負荷；室內照明燈具的散熱負荷；潔凈車間圍護結構(墻、頂、地、門、窗)的傳熱、傳濕負荷；生產設備和生產過程的散熱、散濕負荷；潔凈車間新風處理的熱、濕負荷，夏季時降溫去濕，冬季時加熱、加濕；空氣循環(huán)時風機(或FFU)的溫升和水泵的溫升負荷。潔凈空調負荷的特點如下：

(1)高級別潔凈車間(100級，10級，1級)是垂直單向流潔凈車間，其送風機的風量非常大，換氣次數高達400~500h^-1，而且風機的壓頭也很高，一般多在1000~1500Pa，因此風機溫升的負荷大。按理論計算：在集中送風方式的系統(tǒng)中，風機的溫升為1.5℃，僅此一項的負荷就是500~700W/m²；如果采用FFU送風方式，風機溫升的負荷也要250~350 W/m²。因此風機溫升的負荷大是其第一個特點。

(2)服務于微電子和光電子的高級別潔凈車間因工藝排風量大，所以新風量也很大，新風量一般在10~20h^-1 換氣。因此處理如此多新風的負荷為400~800W/m²；個別工藝的排風量更大，故新風負荷也還會更大，因此新風負荷大是其第二個特點。

(3)生產設備和生產過程的散熱、散濕負荷大，是高級別潔凈車間負荷的第三個特點。生產負荷的大小與工藝生產本身的性質、生產設備的密閉、保溫、通風以及水冷卻的情況有關。

(4)圍護結構的傳熱、照明燈具的散熱以及作業(yè)人員的發(fā)熱這三項負荷相對較小，三項負荷之和還不足總空調負荷的10% (其中：照明負荷為25~30W/m²；圍護結構負荷為20~30W/m²；作業(yè)人員負荷為10~15W/m²)，這是高級別潔凈車間負荷的第四個特點。

二、潔凈車間凈化空調節(jié)能措施

高級別潔凈空調負荷中90%以上的負荷是新風負荷、風機溫升負荷和工藝設備和工藝過程負荷，這也是潔凈空調的節(jié)能重點。

(1)降低新風空調負荷的節(jié)能措施：減少排風量。改進工藝和工藝設備，盡可能不排風、少排風，采取密閉式排風罩在同等的排風效果下盡量減少排風量，減少正壓漏風量。加強潔凈車間圍護結構的密封性，既能保持潔凈車間必要的正壓值，又可減少所需的正壓漏風量，提高新風空氣處理設備的效率。

(2)降低風機溫升負荷的節(jié)能措施：在確保潔凈車間潔凈度的前提下，盡量減少送風量，盡量用局部高凈化來替代全面高凈化。加強空調設備和空調系統(tǒng)的密閉性，減少漏風量。采取凈化送風與空調送風分離的送風方案，使90%的凈化送風量就近循環(huán)，以減少風機溫升負荷。采用FFU加新風機組加干盤管的送風方式以減少風機溫升負荷，提高風機效率，采取變頻措施。中凈環(huán)球凈化可提供凈化工程、潔凈車間的咨詢、規(guī)劃、設計、施工、安裝改造等配套服務。

(3)工藝設備和工藝過程的發(fā)熱是工藝生產本身的問題，只能依靠工藝自己來解決。

(4)合理選擇和確定潔凈車間內的工藝參數(溫度、濕度、潔凈度)：潔凈車間的凈化空調是重點能耗大戶，因此在選擇和確定潔凈車間的潔凈度和溫、濕度時要慎之又慎。即在滿足生產工藝要求的前提下，不應過高、過嚴要求，否則其能耗會大幅度上升。計算潔凈車間內溫度放寬1℃時其能耗可節(jié)省3%左右；其相對濕度放寬5%時其能耗又可節(jié)省3%左右。另外負荷計算時安全裕量不應留得過大，否則設備的耗電會大大增加，為了今后的發(fā)展盡量留有動力設備的空位。

 (5) 優(yōu)化凈化空調系統(tǒng)空氣處理過程：凈化空調系統(tǒng)空氣處理過程的優(yōu)化對節(jié)能的效果十分明顯，優(yōu)化的目的就是減少或消除冷熱抵消現(xiàn)象和降低風機溫升。

(6)合理選擇凈化空調設備：設計建造潔凈車間時要選用高效率的凈化空調設備(冷機、風機、水泵)；選擇低阻高效的過濾設備，風機和水泵的壓頭選擇不宜過高；電動設備盡量采取變頻措施。

(7)低位熱能的利用和廢熱的回收：低位熱能和廢熱回收的潛力非常大。現(xiàn)在很多專家在這方面進行了大量研究，如：工藝冷卻水的回收和利用；噴水汽化潛熱的利用；冷水機、空壓機廢熱的回收以及利用冷水和中溫水回水混合制造中溫水等。

(8)其他措施：加強水管和風管的保溫；減少冷熱源的跑、冒、滴、漏；采取熱回收，充分利用廢熱；盡量利用天然能源作空調系統(tǒng)的預冷和預熱。

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